產品詳情
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標識 |
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【產品名稱】：四氟化碳 |
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【中文名】：四氟化碳、四氟甲烷 |
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【英文名】：Carbon tetrafluoride |
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【分子式】：CF4 |
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【相對分子量】：88 |
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【CAS號】：75-73-0 |
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【危險性類別】： |
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主要組成與性狀 |
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【成分含量】：99.9% |
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【外觀與性狀】：無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體 |
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【主要用途】：用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體及制冷劑 |
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性質與穩定性 |
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【性質與穩定性】：常溫常壓下穩定，避免強氧化劑、易燃或可燃物。不燃氣體，遇高熱后容器內壓增大，有開裂、爆炸危險。化學性質穩定，不燃。常溫下只有液氨-金屬鈉試劑能發生作用。 |
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儲存方法 |
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【儲存方法】：儲存注意事項：儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。 |
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包裝方法 |
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【包裝方法】：鋼瓶氣瓶 |
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